天车(OHT)系统的组成
小车(VHL)、轨道、空中储存位(OHB)、维护升降机(MTL)、非接触式供电系统(CPS)等
天车(OHT)系统的应用
- 广泛应用于半导体生产线,尤其是Fab工程
- 通过空中铺设的轨道,小车在轨道上行走,进行生产物料的自动搬运和设备上下料
- 空中储存位临时存放物料作为缓存
天车(OHT)的特性
- 行走速度快,搬运量大,振动小
- 可实现点对点的灵活搬运
- 充分利用生产线的高度和空间,可增加洁净室的有效使用面积
- 采用非接触供电方式可减少发尘,满足无尘搬运的要求
- 成熟的软件控制系统可确保系统运行稳定可靠