自动搬运设备
项目规划设计时,需要根据搬运载具的类型和工艺设备的类型选定合适的物流搬运设备,一般而言,适用于半导体AMHS应用场景的物料搬运设备主要包括:天车(OHT),洁净立体仓库(Clean Stocker),移动机器人小车(Robot AGV),传输线(Conveyor),升降机(Lifter)等,这些设备可满足半导体AMHS各种应用场景的需求,且均为成川科技自主设计和制造。
天车(OHT)系统的组成

小车(VHL)、轨道、空中储存位(OHB)、维护升降机(MTL)、非接触式供电系统(CPS)等

天车(OHT)系统的应用
  • 广泛应用于半导体生产线,尤其是Fab工程
  • 通过空中铺设的轨道,小车在轨道上行走,进行生产物料的自动搬运和设备上下料
  • 空中储存位临时存放物料作为缓存
天车(OHT)的特性
  • 行走速度快,搬运量大,振动小
  • 可实现点对点的灵活搬运
  • 充分利用生产线的高度和空间,可增加洁净室的有效使用面积
  • 采用非接触供电方式可减少发尘,满足无尘搬运的要求
  • 成熟的软件控制系统可确保系统运行稳定可靠
洁净立体仓库的组成

专用堆垛机(Crane)、物料存储料位(Cell)、自动和手动的物料进出口(Port)等

洁净立体仓库的应用
  • 适用于半导体生产线内物料的自动储存
  • 作为缓存可以平衡设备及工艺间产能的差异
洁净立体仓库的特性
  • 物料存储容量高,充分利用生产线的空间,增加洁净室的有效使用面积
  • 高出入料节拍适应自动搬运的要求
  • 可与物料搬运设备直接对接
  • 高洁净度,一般可达到Class100级,最高可达到Class10级
移动机器人小车的组成

AGV移栽主体、协作式机械手及抓料机构、物料存放台等

移动机器人小车的应用
  • 主要适用于半导体封测生产线物料的自动搬运和设备自动上下料
  • 具有适合的搬运通道且搬运量不是很大
移动机器人小车的特性
  • 系统构筑简便灵活
  • 通过协作机器人实现设备自动上下料
  • 可用于多种形式的设备上下料口
  • 定制抓手可搬运多种载具,定位精度高
  • 360°安全防护
传输线(Conveyor)的组成

标准传输模块、转向机构、升降装置等

传输线(Conveyor)的应用
  • 主要适用于半导体封测生产线物料的自动连续传输搬运
传输线(Conveyor)的特性
  • 物料连续传输搬运,可实现设备自动上下料
  • 架设在空中,可充分利用空间,增加洁净室的有效使用面积
  • 适应多种载具的搬运
  • 实现点对点的精准搬运
  • 可与天车、AGV、Clean Stocker等搬运存储设备直接对接
升降机(Lifter)的组成

标准传输模块、转向机构、升降装置等

升降机(Lifter)的应用
  • 适用于半导体生产线物料在楼层间的直接传送,实现不同楼层生产线的一体化
  • 用于工艺设备的自动上下料以及双层传送线的转换
升降机(Lifter)的特性
  • 物料直接搬运,传输速度快
  • 振动小,可靠性高
  • 适用于高洁净度环境
  • 可传送多种载具,Port口可选用自动或者手动方式
  • 可与天车、AGV、传输线等搬运设备直接对接